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薄膜應力測試系統(tǒng)（kSA MOS Film Stress Measurement System），又名薄膜應力計或薄膜應力儀！ 采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對樣品表面應力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應力、曲率成像分析；并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時大大提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度。

原位薄膜應力測試儀又名原位薄膜應力計，采用非接觸激光MOS技術(shù)；不但可以對樣品表面應力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應力、曲率成像分析；客戶可自行定義選擇使用任意一個或者一組激光點進行測量；并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應力分析；

kSA 400 RHEED分析系統(tǒng)，適合各種RHEED系統(tǒng)和薄膜沉積系統(tǒng)（如：脈沖激光沉積設備PLD,濺射系統(tǒng)Sputtering,分子束外延MBE, 金屬有機化學氣象沉積MOCVD等）！目前第四代系統(tǒng)結(jié)合新的硬件和軟件，為客戶提供豐富的RHEED分析信息。

薄膜熱應力測量系統(tǒng)（kSA MOS Thermal-Scan 薄膜熱應力儀，薄膜應力計，薄膜應力測試儀）同時KSA公司榮獲2008 Innovation of the Year Awardee！

薄膜應力測試儀采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對樣品表面應力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應力、曲率成像分析；并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時大大提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應力分析